机译:使用金属有机和有机金属钛化合物作为前体,通过CVD在低温下沉积氮化钛薄膜
机译:肼和四(二甲基氨基)钛的氮化钛薄膜的低温化学气相沉积
机译:螯合配体作为金属有机(MO)前体的新型钽酰胺基络合物,用于氮化钽薄膜的化学气相沉积(CVD)
机译:螯合配体作为金属有机(MO)前体的新型钽酰胺基络合物,用于氮化钽薄膜的化学气相沉积(CVD)
机译:用肼和四氮化氮(二甲基酰胺)钛的氮化钛薄膜的低温化学气相沉积钛
机译:通过等离子体增强的金属有机化学气相沉积法制得的锶钛氧化物和钡(1-x)锶钛氧化物外延薄膜。
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集
机译:使用有机金属和有机金属钛化合物作为前体,通过CVD在低温下沉积氮化钛薄膜
机译:高温超导薄膜金属有机化学气相沉积中混合有机金属化合物的汽化模型